국내 최초 12인치 반도체 테스트베트 17일부터 공식서비스

과학기술정보통신부가 국내 최초로 나노종합기술원에 12인치 반도체 테스트베드(사진.과기정통부) 구축을 완료해 17일부터 국내 산·학·연 이용자에게 공식서비스를 본격 추진한다고 16일 밝혔다.

국내 반도체 소부장 기업들은 종기원의 12인치 테스트베드를 활용해 반도체 핵심소재 성능 테스트를 신속하게 지원받을 수 있어, 반도체분야 소부장 기술자립화에 소요하는 시간과 비용을 획기적으로 절감할 수 있다.

이조원 종기원 원장은 “현재 12인치 테스트베드는 40nm 패턴웨이퍼 제작이 가능한 인프라로, 반도체 핵심소재(감광제 등)와 장비개발을 집중 지원할 예정이며, 향후 20nm급 패턴웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축 및 공정기술 개발을 추진할 계획”이라고 밝혔다.